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HMDS烘箱

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HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機工業(yè)烘箱

HMDS增粘劑烘箱，HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布，涂膠工藝的配置機臺。

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更新日期
2025-09-17

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廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家

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碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱工業(yè)烘箱

碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵（GaN）和、碳化硅（SiC）、硅片、砷化鎵等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用

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2025-09-17

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HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵

HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵泵具有密封設(shè)計，電機和軸承與真空環(huán)路全隔離，延長了軸承的使用壽命，并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計，可通過簡單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染，并且不會額外增加泵的高度。

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2025-09-17

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OAP烘箱，OAP處理烘箱工業(yè)烘箱

OAP烘箱，OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面，變?yōu)槭杷裕瑥亩_到增加光刻膠粘附性的作用。

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2025-09-17

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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備工業(yè)烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中，通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善，這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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2025-09-17

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